半导体与微电子

日常生活与未来

超纯水和回用水系统在半导体工厂中非常重要,主要用于清洗半导体元件的生产过程。 这些水对细菌、氯和总有机碳等的高质量要求对半导体生产过程极为重要。

紫外线处理是分解和减少总有机碳、除氯和杀死水中细菌的一个非常有效的工艺步骤,可用于制造微电子和半导体行业的超纯水。

半导体与微电子

产品应用

  • 反渗透前的紫外线除氯
  • 反渗透前和终端超滤后的紫外线消毒
  • 在化妆和抛光过程中减少紫外线 TOC
  • 工艺用水
  • 水病原体屏障
  • 向环境排放前的废水消毒

产品

微电子行业的紫外线

专为应对市场挑战而设计的紫外线解决方案。

- 制作过程
- 生产设施
- 湿蚀刻工艺

Featured Products

TOCLine DT PH 值/工艺水
通过减少水中的总有机碳 (TOC) 来确保关键工艺得到保护,这对微电子行业来说非常必要。 TOCLine 有助于确保在整个过程中提供超纯水。
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PureLine PQ IL / 水病原体屏障
专门用于为产品和工艺用水提供第三方生物检测的紫外线消毒。
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PureLine PQ IL / 向环境排放前的废水消毒
旨在确保排放水在排入环境之前达到最高保护水平。
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