Halbleiter und Mikroelektronik

Alltag und Zukunft

In Halbleiterfabriken sind Reinstwasser- und Wiederverwendungswassersysteme von großer Bedeutung, die hauptsächlich zur Reinigung des Produktionsprozesses von Halbleiterkomponenten eingesetzt werden. Die hohen Qualitätsanforderungen an solches Wasser gegen Bakterien, Chlor und TOC usw. sind für den Halbleiterproduktionsprozess äußerst wichtig.

Die UV-Behandlung ist ein sehr effektiver Prozessschritt zum Abbau und zur Reduzierung von TOC, zur Entchlorung und zur Abtötung von Bakterien im Wasser, um hochreines Wasser zu erzeugen, das in der Mikroelektronik- und Halbleiterindustrie verwendet wird.

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Halbleiter und Mikroelektronik

Product Applications

  • UV-Entchlorung vor RO
  • UV-Desinfektion vor RO und nach Terminal UF
  • UV-TOC-Reduzierung im Make-up- und Polierprozess
  • Prozesswasser
  • Barriere gegen Wasserpathogene
  • Desinfektion des Abwassers vor der Einleitung in die Umwelt

Products

UV in der Mikroelektronikindustrie

Speziell für Ihre Marktherausforderungen entwickelte UV-Lösungen.

- Herstellungsprozess
- Produktionsstätte
- Nassätzverfahren

Featured Products

TOCLine DT PH / Prozesswasser
Für die Mikroelektronikindustrie ist es wichtig, sicherzustellen, dass kritische Prozesse durch die Reduzierung des gesamten organischen Kohlenstoffs (TOC) im Wasser geschützt werden. Die TOCLine trägt dazu bei, dass während des gesamten Prozesses Reinstwasser geliefert wird.
Siehe Produkte
PureLine PQ IL / Barriere gegen Wasserpathogene
Wird speziell für die UV-Desinfektion von Produkt- und Prozesswässern mit Bioassays von Drittanbietern verwendet.
Siehe Produkte
PureLine PQ IL / Abwasserdesinfektion vor der Einleitung in die Umwelt
Ziel ist es, sicherzustellen, dass abfließendes Wasser vor der Einleitung in die Umwelt dem höchsten Schutzniveau unterliegt.
Siehe Produkte

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Nuvonic is the innovator in sustainable UV technology for water, air and surface disinfection on a global scale. Our mission is to support nature’s purity with science by protecting people and processes from harmful contamination.

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