Alltag und Zukunft
In Halbleiterfabriken sind Reinstwasser- und Wiederverwendungswassersysteme von großer Bedeutung, die hauptsächlich zur Reinigung des Produktionsprozesses von Halbleiterkomponenten eingesetzt werden. Die hohen Qualitätsanforderungen an solches Wasser gegen Bakterien, Chlor und TOC usw. sind für den Halbleiterproduktionsprozess äußerst wichtig.
Die UV-Behandlung ist ein sehr effektiver Prozessschritt zum Abbau und zur Reduzierung von TOC, zur Entchlorung und zur Abtötung von Bakterien im Wasser, um hochreines Wasser zu erzeugen, das in der Mikroelektronik- und Halbleiterindustrie verwendet wird.
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